Leitz Reference Xi – “Xi” 代表着系统具备充分的“灵活性”。 将Leitz高性能的扫描技术应用于新型Leitz Reference Xi，提供了丰富的测量选择：从连接自动旋转测座的HP-S-X1扫描探测系统，到配备固定式扫描探测系统HP-S-X3C 一直到HP-S-X5 HD，能够在配备加长探针的情况下保持高精度。 在各种配置下提供一如既往的高精度 - 无论是分度还是固定式探测系统。通过配备支持多测头的控制器，Leitz Reference Xi系列测量机还能够配备激光扫描测头、接触式粗糙度测头，实现微观尺寸评定。这些不同形式的测头传感器可以通过SENMATION多测头平台整合在一台Reference Xi 上随时取用，实现在各种环境下的高精度、全自动、复合式灵活测量。
1. 整体占地面积小、高度低——适合安装于狭小空间。
2. TRICISION技术——独特三角形横梁截面较传统设计刚性提高25%，X向轨道重心降低50%，提高了尺寸测量稳定性和精度。
3. 采用计算机辅助设计技术，如有限元分析（FEA）和模块分析——使整机结构在偏移、震动和运动过程中保持最佳。
4. 工作台无侧墙——方便工件装载，可无限制接近工作区进行测量。
5. 优化弹性振动系统，具备“可变刚性”——可隔绝周围震动。
6. 高性能伺服电机及同步带驱动——保证最大加速度和定位精度
7. 精密加工椭圆齿型钢丝增强同步带——减少在高速扫描情况下的震动。
8. 完善的安全与碰撞保护——避免碰撞，减少维修成本。
9. 整合温度传感器——温度变化时对误差进行补偿
10. 配有远程诊断功能——使服务停机时间大大降低。
11. 采用高分辨率光栅系统—— 系统分辨率高达0.005um, 保证了机器精准定位及高重复性
12. 可配备多测头系统（传统测头、光学非接触式测头、接触式粗糙度测头）——满足多种测量精度要求，实现其通用性。
13. 可作为齿轮检测中心——最大直径达1150mm。
14. XT选项——为15-30℃之间的测量提供高精度和可靠性。