Leitz PMM-Xi系列高性能测量机将超高精度与优异的动态性能结合在一起，测量周期短、测量效率高，提供了快速数据采集和先进的高速扫描技术，从而进一步提升了过程控制的效率。源自Leitz的三维探测技术，具备高速扫描功能，能够快速采集大量数据。Leitz PMM-Xi 系列超高精度测量机还能够完成形状测量。
1.“封闭框架”和移动工作台设计，整体结构采用花岗岩和铸钢——确保高精度性能和稳定性 
2. 预载荷空气轴承与中央驱动——保证工作台无摩擦运动，减少了偏差与扭矩
3. 独有的燕尾导轨系统——保证了运动的平稳。
4. 高分辨率精密金属光栅位置靠近导轨——确保了高重复性与复现性，阿贝误差小
5. 伺服驱动配以精密滚珠丝杠传动——保证最大加速度和定位精度
6. 采用高分辨率光栅系统—— 系统分辨率高达0.005um, 保证了机器精准定位及高重复性
7. 完善的安全与碰撞保护——避免碰撞，减少维修成本。
8. 整合温度传感器——温度变化时对误差进行补偿
9. 配有远程诊断功能——使服务停机时间降为最少。
10. 配合QUINDOS 软件——能够为齿轮加工刀具提供解决方案。
11. 最现代设计理念的电控系统——能够完成复杂的移动轨迹和测量数据的评价。
12. 可变高速扫描技术（VHSS）——根据工件几何特征与公差确认最佳扫描速度。
13. 专业的齿轮检查仪——可测量任何齿轮以及各种齿轮刀具，直径最大到1550 mm，超长齿轮轴可以以水平方式放置进行测量。
14. 测量过程中不需要转台——不需要对齿轮进行找正和分中。
15. 利用托盘完成大量的齿轮检测——提供了无以伦比的效率
16. 可完成图纸定义的各种基准，甚至是大型内齿的测量。
17. Leitz三维扫描探测系统：LSP-X5 HD