三坐标测量机主机部分由主机、测头、电气系统三大部分，以下是有关电气的介绍。
电气系统分为：
1、计算机硬件部分，三坐标测量机可以采用各种计算机，一般有PC机和工作站等。
2、电气控制系统是三坐标测量机的电气控制部分。它具有单轴与多轴联动控制、外围设备控制、通信控制和保护与逻辑控制等。
3、测量机软件，包括控制软件与数据处理软件。这些软件可进行坐标交换与测头校正，生成探测模式与测量路径，可用于基本几何元素及其相互关系的测量，形状与位置误差测量，齿轮，螺纹与凸轮的测量，曲线与曲面的测量等。具有统计分析、误差补偿和网络通信等功能。
4、打印与绘图装置，此装置可根据测量要求，打印出数据、表格，亦可绘制图形，为测量结果的输出设备。
